• 详细信息

    磁环垂直电阻测试仪 磁环垂直电阻测试仪 适用性广泛
    材料范围宽:适用于高阻(如半导体)到低阻(如金属)材料的测量,覆盖电阻率范围广(10103 Ω·cm)。
    样品形状灵活:对样品平整度或厚度要求较低,可测量薄膜、块体、不规则形状材料,甚至粉末压片。
     
     
    1. 半导体材料研究
    用于测量硅、锗、砷化镓等半导体材料的电阻率、载流子浓度及掺杂类型,直接关联杂质含量分析。
    在晶圆制造中检测电阻率均匀性,确保外延片、离子注入片等工艺质量。
    通过温度依赖性研究,分析半导体材料的电学性能变化。
    2. 薄膜材料分析
    适用于金属膜、氧化物薄膜(如氧化铝、氮化硅)及半导体薄膜的电阻率测量,评估其导电性能。
    在光伏领域检测太阳能电池薄膜的方阻分布,优化材料制备工艺。
    对微纳米金属烧结体(如银、铜)的电阻率进行高精度测量,避免接触电阻干扰。
    3. 纳米材料与石墨烯表征
    测量石墨烯的薄层电阻和载流子迁移率,分析晶界、褶皱对电导率的影响。
    微四探针技术可实现晶圆级石墨烯电导性能的高分辨率评估,误差低于0.1%
    4. 导电材料检测
    用于合金、陶瓷等导电材料的电阻率测试,支持大尺寸样品直接测量。
    在微电子器件制备中快速检测器件的电学性能。
    5. 工业与科研应用
    通过电阻率技术,分析材料表面电学性能的空间分布。
     
     
    送样要求及注意事项
    粉末测量装置与模具:为确保测试的准确性,需要使用内径为10mm、高度为25mm的模具来制备粉末样品。模具的规格应严格按照要求执行,以避免因模具尺寸不当而导致的测量误差。
    样品制备:将粉末样品均匀填充到模具中,并压实以确保样品密度的一致性。样品制备过程中应避免引入杂质或气泡,以免影响测量结果。
    测试环境:测试应在恒温恒湿的环境中进行,以避免环境因素对测量结果的影响。同时,应确保测试仪器的稳定性和准确性,以提高测量结果的可靠性。
    操作规范:在测试过程中,应严格按照测试仪器的操作说明进行操作,避免操作不当而导致的测量误差。同时,应注意安全操作,避免触电或损坏仪器。
    综上所述,粉末电导率测试和电阻率是评估粉末材料导电性能的重要手段。通过采用四探针法和 的粉末电阻率测试仪,可以准确测量粉末材料的电阻率和电导率,为材料的研究和应用提供有力的支持。在测试过程中,应严格遵守送样要求及注意事项,以确保测量结果的准确性和可靠性。
     
     
    注意事项
    1.选择合适的测试方法:不同的测试方法适用于不同的材料和测试条件,需要根据实际情况选择合适的测试方法。
    3.测量仪器的精度和准确性:测量仪器的精度和准确性对测试结果的影响较大,因此需要选择符合要求的测试仪器,并严格按照操作规程进行测量。
    3.样品处理:在测试前,需要对样品进行适当的处理,如干燥、研磨等,以确保测试结果的准确性。
    4.环境因素:测试环境(如温度、湿度等)也可能对测试结果产生影响,因此需要在相同的测试条件下进行比较和分析。
     
     
    粉末电阻率测试方法
    粉末电阻率的测试通常采用四探针法。这种方法利用四根等间距的探针插入粉末样品中,通过测量探针间的电压和电流来计算样品的电阻率。四探针法具有测量准确、操作简便等优点,是粉末电阻率测试的首选方法。
     
     
     
    四探针法:
    通常用来测量半导体的电阻率,具有不需要校准的优点。
    原理:利用四根等间距的探针插入待测样品中,通过测量探针间的电压和电流关系来计算电阻率。
     
     
    测试前准备
    样品制备
    将粉末样品充分混合均匀,确保成分和粒度分布一致。
    若采用压片法,需将粉末与粘合剂混合后压制成薄片(厚度约16±0.5mm),表面需平整无裂纹。
     
    仪器校准
    使用标准电阻校准仪器,确保测量精度。
    检查压力显示是否归零(如未加压时显示“0000”)。
     
    影响因素
    样品均匀性:粒度分布不均会导致数据离散;
    接触质量:探针倾斜或接触不良影响精度;
    压强控制:需稳定在标准值(如3.9MPa±0.03MPa)。
     
     
    实际测量中的精度表现
    1.常规条件:在样品均匀、探针间距稳定的情况下,误差可控制在±1%以内(如极片电阻测试中四探针法COV值显著低于单探针法)。
    2.高阻材料:半导体薄膜测量时,温差电动势或环境湿度可能引入偏差,需通过屏蔽导线和温控优化。
    3.薄层样品:厚度小于探针间距时需修正系数,否则误差增大(如硅片测试中可能破坏样品表面)。
     
     
    四探针法与涡流法的比较
    1.接触方式:涡流法为非接触式,通过电磁感应测量,适合表面或涂层材料;四探针法需物理接触,但可测量体电阻率。
    2.干扰因素:涡流法易受样品厚度和电磁环境影响,四探针法对内部结构无干扰,结果更稳定。
     
     
    间距控制的实践要点
    1.样品匹配原则:
    对于半无限大样品(如晶圆),探针间距需小于样品*小尺寸的1/20,避免边缘效应干扰。
    薄膜样品要求厚度与间距比(t/s≤0.4,否则需引入修正系数(如C=4.532)。
    2.接触压力控制:
    使用弹簧加载机构保持探针压力0.5~1N,压力过大会导致间距变形(如银薄膜测试中压力增加7%会使电阻率上升7%)。
    软质材料(如有机半导体)建议采用镀金探针减少压痕。
     
     
    自动化与智能化功能
    1.自动极性切换:正/负电流输出与电压测量自动完成,减少人工干预。
    2.实时数据图谱分析:PC软件同步显示压强-电阻率变化曲线、压实密度曲线,支持数据导出与报表生成。
    3.压力与厚度联动控制:压力范围*高达 200 kg–1吨,厚度测量精度±0.1 mm,可定制模具尺寸(如内径16–163 mm)。
     
     
    新能源电池材料
    正负极材料优化:用于锂电池正极材料(如磷酸铁锂、三元材料)和负极材料(如石墨、硅碳复合)的导电性能评估,通过电阻率与压实密度关联分析提升电池能量密度和循环寿命。
    固态电解质研发:测量硫化物/氧化物固态电解质的离子电导率(通过电阻率换算),研究压力对离子传导通道的影响。
    生产质控:监控极片涂布和辊压工艺后的电阻一致性,确保电池电芯性能稳定。
     
     
    典型应用场景

    半导体制造:硅片电阻率、扩散层薄层电阻检测。
    柔性材料:导电膜、金属薄膜的方块电阻测量。
    科研与教育:高校及科研机构的材料电性能表征。
    该技术通过标准化操作(如暗室测量避免光敏干扰、电流选择平衡精度与热效应)确保数据可靠性。
    炭素冶金 原料质量控制,缩短质检时间(如某厂商从3小时/批次降至20分钟)
    半导体研发 推动柔性电子、储能材料(如钙钛矿太阳能电池)的创新应用
    备注:测试方法需适配场景——四探针法(符合锂电池标准GB/T 24533)用于高精度分析,两探针法则适用于常规导电性筛查
     
     
    影响因素与范围扩展说明
    关键因素 对量程的影响
    测试电压 电压↑ → 可测电阻上限 500V: 20GΩ → 5000V: 200GΩ
    仪器精度 高精度设备支持更极值测量(如μΩ级低阻) 直流电阻测试:?1μΩ–20kΩ?
    环境干扰 湿度过高可能导致高阻值测量误差±5%以上 需控制湿度≤85%RH
    注意:超低阻(<1MΩ)或超高阻(>100GΩ)测量需选用专用设备,避免量程不匹配导致数据失真;测量时应严格遵循电压-量程对应关系,例如5000V档位不可用于低于4MΩ的试品。
     
     
    参数:
    1.电阻resistance 10-7~2×107Ω
    2.电阻率范围Resistivity 10-7~2×107Ω-cm
    3.电导率Conductivity 10-7107s/cm
    4.测试电流范围 current 1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,1000mA
    5.测量电压量程Voltage 测量电压量程 voltage:2mV  20mV 200mV 2V
    测量精度Accuracy±(0.1%读数)
    分辨率 Resolution  0.1uV  1uV  10uV  100uV
    6.电流精度Current  ±0.1%Accuracy
    7.电阻精度Resistance Accuracy ≤0.3%标准电阻resistance
    8.显示读数display 液晶显示:电阻值、电阻率、电导率值、温度、压强值、单位自动换算、横截面、高度,上下限警报
    LCD: resistance, resistivity, conductivity, temperature, pressure value, the unit automatically conversion, cross-section, and upper limit alarm
    9.测试方式Test mode 四端测量法Four-terminal measurement method
    10.传感器压力Pressure Sensors 200kg;(其他规格可以定制)
    (Other specifications can be customized)
    11.粉末测量装置
    Powder measuring device
    模具Mold:内径inner diameter 10mm; 20mm(选购), height: 25mm,
    加压方式:手动液压加压测量 pressure: manual hydraulic pressure / automatic compression mode (purchase).
    12.工作电源power supply 输入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗Power consumption:<30W
    13.外形尺寸/dimensions 主机Mainframe:约L330mm*D350mm*H120mm ;手动装置about:约H450mm*L200mm*D120mm
     
     
    安全与可靠性
    安全防护
    1.必须配备过压/过流保护、自动放电功能(测试后释放绕组储能);
    2.高压档位需有声光报警提示(如UT501的电压符号显示与红灯警示)。
    环境适应性
    1.工作温度:-10℃–50℃,湿度≤85%RH(避免结露影响精度);
    2.防尘防摔设计(户外作业选IP65防护)。
     
     
    两电极法 + 四线制:
    在样品两端施加电流电极,在更内侧测量电压电极。
    优点: 接线相对简单,可通过四线制消除引线电阻影响。
    缺点: 电流分布不如四探针均匀,接触电阻仍可能对电压测量点有影响(尽管四线制已大幅降低),精度通常低于四探针法。适用于电阻率较高或较低,或形状受限的样品。
     
     
    选择仪器的关键考虑因素
    1.测量对象:是半导体微结构(需 TLM/CBKR)还是宏观连接器/触点(测 Rc
    2.目标参数:主要报告接触电阻(Rc)还是必须获得接触电阻率(ρc
    3.精度要求:需要 nV/μΩ 级分辨率?测量不确定度要求?
    4.电流范围:典型测试电流大小(避免发热影响测量)。
    5.压力控制:所需压力范围、精度及控制方式(手动/自动)。
    6.符合标准:是否需要遵循特定行业标准(如 EIA-364, MIL-STDJESD
    7.自动化程度: 手动单次测量 vs 自动多点/压力扫描
     
     
    北广产品销往北京、上海、广东、河南、浙江、河北、江苏、湖南、内蒙、山东、四川、广州、江西、西北、云南、深圳、吉林、南京、嘉兴、佛山、苏州、杭州、宜兴、西安、潥阳、长春、江苏、平顶山、安徽、金水、金华、海南、廊坊、天津、成都、扬州、东莞、济南、南通、株洲、保定、贵州、宜兴、嘉兴、黑龙江、漳州、成都、重庆、咸阳、济南、绍兴、杭州、拉萨、山西、惠州、沧州、江西、沈阳、武汉、沈阳、昆明、鹤山、许昌、青海、宁波、醴陵、淄博、瑞安、阜新、合肥、长沙、常州、瑞安、青岛、无锡、济宁、醴陵、厦门、河源、乐清、烟台、福州、龙口、徐州、唐山等地销售。
     
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